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       低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
按低温泵分类
低温冷却循环泵

低温冷却循环泵特别适用于需要维持低温条件下工作的各种化学化工、生物制药、物理实验,...

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低温泵

利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气...

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